气浮式光学平台PLM系列
气浮式光学平台PLM系列
产品特点
PLM系列 高阻尼空气弹簧
大理石台面
可调平移动脚轮
精密高度阀与控制器
大理石台面/铝合金台面
精密测试仪器应用场所
垂直方向固有频率：3.0 HZ
水平方向固有频率：1.5 HZ
定制光学隔振平台
定制光学隔振平台
应用领域
显微镜
生命科学
半导体
精密测量
光学显微镜
原子力显微镜/扫描探针显微镜
电生理学/神经分析
光学测量、
激光器
长度、圆度、粗糙度测量
高精密天平
三坐标测量仪
摇篮式隔振台架，光学平台
摇篮式隔振台架，光学平台
摇篮式平台和订制的机台架
可以降低系统的中心，从而增加了气浮式减震系统的稳定性。
正确使用气浮式减振器的一个重要条件就是将减 振器放置于需要减振的设备之下。在系统的设计 中，减振器的弹性平面应该尽可能的接近有效载 荷负载和其支撑结构的重心。
当有效载荷在水平方向上振动时其重心高于减振系统的弹性平面，就会产生摇摆现象。如果重心高于弹性平面很多，整个系统则会出现不稳定。气浮式减振器的放置位置一定要满足稳定系统的要求。
使用摇篮式平台可以使减振器更接近重心，进而减少摇摆现象。当不能对机
低重心隔振台架，光学平台
低重心隔振台架，光学平台
• 台面尺寸：定制的台面尺寸
• 系统高度：按要求定制
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与控制器
• 用途：大型电子显微镜
重型设备隔振平台
重型设备隔振平台
台面材料：定制的 T 槽台面板
• 台面尺寸：标准尺寸 1500×2000 或 2000×3000 mm 接受非标尺寸定制
• 系统高度：按要求定制
• 固有频率：2.5/2.0 Hz
• 用 途：大型测试设备安装
精密测量隔振平台，光学平台
精密测量隔振平台，光学平台
台面尺寸(mm)：定制的台面尺寸（1200*2400; 1500*3000)
系统高度(mm)：按要求定制
固有频率(Hz)：2.5/2.0/1.5/1.0/0.5(Hz)
定制xy移动隔振平台
定制xy移动隔振平台
台面尺寸：定制的大理石台面，形状及尺寸
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与水平控制器
• 用途：光学、半导体加工及测量平台
定制精密加工&检测隔振平台
定制精密加工&检测隔振平台
台面尺寸：定制的大理石台面形状及尺寸
• 系统高度：按要求定制
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率：2.0 HZ 水平方向固有频率：1.5 HZ
• 高精密高度阀与水平控制器
• 用途：光学、半导体加工及测量平台
