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定制xy移动隔振平台

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台面尺寸:定制的大理石台面,形状及尺寸
• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率:2.0 HZ 水平方向固有频率:1.5 HZ
• 高精密高度阀与水平控制器
• 用途:光学、半导体加工及测量平台

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